产品详细
采用高精度南非花岗岩底座和立柱，确保机台拥有的高稳定性和精确度；
采用高精密无牙光杆和快速移动锁紧装置，确保工作台回程误差在2um以内；
采用高精度A级仪器光学尺配合精密工作台，确保机台精度在≤2+L/200um以内；
采用高清变焦镜头和高解析度彩色相机，确保画质清晰无畸变；
采用程控式表面4环8区LED冷光源和透射LED平行光源，以及内置智能灯光调节模块，可自由控制灯光在4环8区任何区域的亮度；
Z轴采用高精度直线导轨和伺服电机控制系统，实现自动对焦，消除人为聚焦误差，提升测量精度和稳定性；
功能强大的iMeasuring2.2影像测量软件，提升品质管控到新的台阶；
可选进口接触式探针和三维测量软件，轻松将机台升级成为接触式三次元测量机；
可选FexQMS测量数据分析及和实时监控软件，提升制程控制、降低物料耗损。
| 仪器型号 | ESNANO-2010F | ESNANO-2515F | ESNANO-3020F | ESNANO-4030F | ESNANO-5030F |
| 仪器货号# | 521-140F | 521-150F | 521-160F | 521-170F | 521-180F |
| 金属工作台 | 408x308mm | 408x308mm | 458x358mm | 608x470mm | 708x470mm |
| 玻璃工作台 | 306x198mm | 306x198mm | 356x248mm | 456x348mm | 556x348mm |
| X/Y轴行程 | 200x100mm | 250x150mm | 300x200mm | 400x300mm | 500x300mm |
| Z轴 | 高精度直线导轨和伺服电机控制系统，有效行程200mm | ||||
| X/Y/Z轴分辨率 | 0.0005mm | ||||
| X/Y轴精度 | ≤2+L/200(um) | ||||
| 重复精度 | 2um | ||||
| 底座和立柱 | 高精度花岗岩 | ||||
| 照明系统（软件调控） | 表面4环8区无级可调LED冷光源，每区可独立调控 | ||||
| 透射LED平行（面）光源 | |||||
| LED镭射导航指示灯 | |||||
| CCD | 高分辨率700TVL彩色CCD | ||||
| 变焦物镜 | 6.5X高分辨率定格定倍变焦物镜 | ||||
| 光学放大倍率：0.7X~4.5X倍；视频放大倍率：26X~172X | |||||
| 工作环境 | 温度：20℃±2℃，温度变化<2℃/hr | ||||
| 湿度：30% ~80%RH | |||||
| 震动<0.002g，低于15Hz | |||||
| 测量软件 | iMeasuring 2.2 | ||||
| 操作系统 | 支持XP，WIN7，WIN8.1，WIN10，32/64位操作系统 | ||||
| 操作语言 | 英文、简体中文、繁体中文，可增加其他语言版本 | ||||
| 外形尺寸(WxDxH) | 790x617x1000mm | 790x617x1000mm | 838x667x1000mm | 1002x817x1043mm | 1002x867x1043mm |
| 净重 | 175Kg | 175Kg | 185Kg | 350Kg |
380Kg |
